今年7月，中微向福建高院正式起诉 “Veeco上海”，指控其TurboDisk EPIK 700型号的MOCVD设备侵犯了中微的基片托盘同步锁定的中国专利，要求其停止侵权并主张上亿元侵权损害赔偿。

中微半导体设备12月8日宣布，中国福建省高级人民法院同意了中微针对维易科精密仪器国际贸易(上海)有限公司(以下简称“Veeco上海”)的禁令申请，该禁令禁止Veeco上海进口、制造、向任何第三方销售或许诺销售侵犯中微第CN 202492576号专利的任何化学气相沉积装置和用于该等装置的基片托盘。该禁令涵盖TurboDisk EPIK 700、EPIK 700 C2 和EPIK 700 C4机型的MOCVD设备，以及在该等MOCVD设备中使用的基片托盘。中微认为Veeco EPIK 868机型MOCVD设备的旋转轴和基片托盘锁定同步装置也使用了中微涉案专利技术，因此该裁定也涵盖了Veeco的EPIK 868机型及在该设备中使用的基片托盘。

该禁令立即生效执行，不可上诉。这一严格的禁令充分表明，Veeco上海公然侵犯了中微的知识产权， Veeco上海不尊重中微的知识产权。

点评：福建高院判决VeecoEPIK700机型在国内禁售，是国产半导体设备的胜利。中微等国产半导体设备企业崛起，Veeco等海外企业仅靠专利战无法击败中微。中微以彼之道还施彼身，显示国内半导体设备的创新与技术能力已经不可同日而语。