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中微赢得针对Veeco上海的专利禁令申请
中微赢得针对Veeco上海的专利禁令申请
今年7月，中微向福建高院正式起诉 “Veeco上海”，指控其TurboDisk EPIK 700型号的MOCVD设备侵犯了中微的基片托盘同步锁定的中国专利，要求其...